R&D System

자동화 시스템 구축으로, 안정된 품질을 실현합니다.

R&D System

  • OLED 소자의 연구개발
  • OLED 재료업체의 다양한 테스트 진행
  • 대학교내 산업협력업체의 OLED 응용개발

Specification

Item
Description
Glass
100mmX100mm ~ 200mmX200mm
Evaporation source
(CELL)

Temperature RT ~ 500℃ , RT ~ 1200℃

Volume 10cc(Point source) source

Crucible matl Al2O3 cell

PWE, CTRL 10V 20A, 20V 40A

Hi-vacuum pump
CRYO,ISO200, 4000 L/sec(N2)
Ultimate pressure
≤ 5X10-7 Torr
Film thickness uniformity
≤ ±5%(Organic), ≤ ±7%(Metal)