R&D System

自动化系统构建,实现稳定品质。

R&D System

  • OLED器件的研究开发
  • 与OLED材料企业开展多样化测试
  • 在高校产业合作单位进行OLED应用开发

Specification

Item
Description
Glass
100mmX100mm ~ 200mmX200mm
Evaporation source
(CELL)

Temperature RT ~ 500℃ , RT ~ 1200℃

Volume 10cc(Point source) source

Crucible matl Al2O3 cell

PWE, CTRL 10V 20A, 20V 40A

Hi-vacuum pump
CRYO,ISO200, 4000 L/sec(N2)
Ultimate pressure
≤ 5X10-7 Torr
Film thickness uniformity
≤ ±5%(Organic), ≤ ±7%(Metal)